三维表面形貌测量
支持从纳米到毫米尺度的三维表面特征测量，并提供亚纳米级分辨率。
KLA
Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪Profilm3D 系列采用白光干涉技术进行非接触式三维表面形貌测量，支持垂直扫描干涉和相移干涉，可通过灵活的测量配方完成单点扫描或多位置自动测量。
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- Profilm3D 系列型号：Profilm3D 与 Profilm3D-200
- 纳米至毫米
- 支持测量的表面特征高度范围
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- 主要干涉测量方式：垂直扫描与相移干涉
面向研发与生产的三维表面测量
产品覆盖台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲、形状、边缘轮廓和缺陷表征等测量任务，并提供自动对焦、自动 XY 载台及多视场拼接能力。
TotalFocus 三维成像
通过逐像素优化焦点生成全测量范围内清晰的三维自然彩色图像。
粗糙度与斜面测量
增强粗糙度模式可提升条纹对比度，用于粗糙、低反射率和高斜率表面的测量。
自动对焦与多位置测量
自动对焦和长行程压电扫描支持多个高度相隔较大的表面测量，并可通过配方执行自动化测量。
自动载台与视场拼接
自动 XY 载台支持较长行程的区域映射，并可将多个视场拼接为单次测量结果。
产品与仪器资料入口
查看 Profilm3D 产品详情及 KLA Instruments 仪器概览，了解光学轮廓测量产品与相关资料。
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